臭氧發生器是利用高壓放電原理，實現由氧氣轉化為臭氧的過程。即將高壓交流電加在中間隔有絕緣體并有一定間隙的高壓電極上。讓經過的干燥凈化空氣或氧氣通過。當高壓交流電達到10-15KV時，產生紫色輝光放電從而將空氣或氧氣的氧分子或原子激化成臭氧。臭氧的形成隨所加的電源電壓，電流等變化。

　　臭氧發生器開始工作時，將無油空氣壓縮機中的空氣壓進臭氧發生器的冷卻器和儲氣罐，空氣通過無熱再生干燥裝置并由流量計控制其氣體流量和速度，由此氣源進入臭氧發生單元。此時臭氧發生單元內調壓器調節變壓器將壓力升至12000V左右，操作人員可通過視鏡觀察臭氧產生狀況和輝光放電狀況。變壓器繼續使壓力逐步上升至15000V左右并至穩定狀態，操作人員觀察各儀表運轉情況至穩定狀態。

　　臭氧發生器的滅菌消毒：研究表明，臭氧是廣譜、效率高、快速滅菌劑，臭氧發生器它可迅速殺滅使人和動物致病的各種病菌，病毒及微生物。臭氧是一種氧化性非常強的物質，利用它的氧化性，可以在較短時間內破壞細菌、病毒和其它微生物的生物結構，臭氧發生器使之失去生存能力。利用氧化性來殺死微生物以達到滅菌效果的化合物還有很多，比如常見的氯氣、漂白粉、高錳酸鉀等。但是，這些滅菌劑不但比臭氧滅菌速度慢，而且一般的滅菌劑對人體有害。