地表水含有各種有機、無機和各種細菌和病毒。經過臭氧深度處理后，地表水基本可以達到比較好飲用水的標準。水中臭氧濃度測試結果為0。在4ppm的條件下，自來水消毒設備臭氧發生器可以在一分鐘內殺死所有的細菌和病毒，殺死病毒的速度比滅菌還快。臭氧處理后的飲用水水質比較好，可以防止管道中微生物的生長，保護人體健康。如果只用紫外線消毒滅菌，只能穿過一定厚度的水層，消毒滅菌不比較*地，而臭氧消毒*可以解決問題。如果臭氧和紫外線聯合消毒滅菌，效果是不是比單獨使用兩種方法都好呢？

用自來水消毒設備臭氧發生器直接對自來水消毒要簡單得多，所需臭氧濃度大大降低。但是臭氧非常容易分解，需要在它們的末端加入少量的余氯，防止供水管道中的細菌再次滋生。臭氧消毒過程中沒有有害殘留物（如致癌鹵化有機物的氯化作用），對提高飲用水的消毒質量非常有效。

在國外，用純凈水對臭氧發生器進行消毒是很常見的。臭氧消毒后，池塘水質清澈透明，比較*地解決了氯消毒對眼睛和皮膚的刺激。在我國一些經濟發達地區，用臭氧對游泳池的水進行消毒，效果良好。水經過深度處理后，臭氧可以去除循環冷卻水中形成污垢的雜質，防止管道堵塞。要達到這個目的，當然首先要去除氨，否則氨的還原性會分解殘留臭氧，不利于維持臭氧的氧化效率，殘留臭氧通常保持在0.5毫克/升左右為宜。